高純乙炔（C2H2）
高純氬氣
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產品編號
所屬分類
高純氣體
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關鍵詞:
煙臺高純氣體
煙臺工業氣體
蓬萊氣體
產品描述
參數
氬氣(Ar)
|
項目名稱 |
純度指標(%) |
||
| 氬氣 |
≥99.9999 |
≥99.999 |
|
|
雜質含量(ppm) |
氧氣（O2） |
≤0.2 |
≤2 |
|
水(H2O) |
≤0.2 | ≤4 | |
|
氮氣(N2) |
≤0.4 | ≤5 | |
|
一氧化碳（CO） |
≤1 | ≤1 | |
|
二氧化碳(CO2) |
≤0.5 | ≤1 | |
|
碳氫化合物（THC） |
≤0.1 | ≤2 | |
包裝：采用40L鋼瓶充裝，也可根據客戶需要分裝到4-10L的氣瓶中。
用途：用于半導體制造工藝中的化學氣相淀積、晶體生長、熱氧化、外延、擴散、多晶硅、鎢化、離子注入、冶煉、切割、焊接等。
理化性質: 氬氣的性質非常穩定，既不能燃燒，也不助燃。氬本身無毒，但在高濃度時有窒息作用。當空氣中氬氣濃度高于33%時就有窒息的危險。當氬氣濃度超過50%時，出現嚴重癥狀，濃度達到75%以上時，能在數分鐘內死亡。液氬可以傷皮膚，眼部接觸可引起炎癥。
煙臺高純氣體廠家注意事項：密閉操作，提供良好的自然通風條件。操作人員必須經過專門培訓，嚴格遵守操作規程。防止氣體泄漏到工作場所空氣中。遠離易燃、可燃物。搬運時輕裝輕卸，防止鋼瓶及附件破損。配備泄漏應急處理設備。儲存于陰涼、通風的庫房。遠離火種、熱源。庫溫不宜超過30℃。應與易(可)燃物分開存放，切忌混儲。 一般不需特殊防護，當作業場所空氣中氧氣濃度低于18%時，必須佩戴空氣呼吸器、氧氣呼吸器或長管面具。
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